3D 마이크로 구조 기반 고감도 압력센서 개발
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3D 마이크로 구조 기반 고감도 압력센서 개발
  • 최경주 기자
  • 승인 2022.08.02 09:25
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KAIST, 팽창하는 입자를 이용한 불규칙한 마이크로 돔 구조 기반 고감도 압력센서 개발​
선정된 표지 논문
선정된 표지 논문

KAIST 기계공학과 박인규 교수 연구팀이 한국생산기술연구원 조한철 박사와 공동 연구를 통해 3D 마이크로 구조 기반의 표면 형태 제어 기술 및 고감도 압력센서 설계 관련 원천기술을 개발했다.

최근 인간과 전자기기 간의 상호작용 기술의 중요성 증가에 따라, 그 매개체 역할을 하는 센서 기술 개발에 대한 관심이 증가하고 있다. 

고성능 센서 기술은 스마트 기기, 보안 및 안전, 의료 및 헬스케어 분야와 같은 고부가가치 산업에 주로 적용되고 있다. 

최근에는 뛰어난 센서 특성과 함께 유연한 특성으로 인해 사람의 피부와 같은 굴곡진 부위에 쉽게 부착 가능한 유연 압력센서 및 웨어러블 센서 응용에 대한 관심이 급증하고 있다. 

특히, 표면에 3D 마이크로 구조가 어레이된 필름을 사용하면 센서의 전반적인 특성을 향상시킬 수 있어, 3D 마이크로 구조의 크기 및 밀도를 제어할 수 있는 기술이 필수적으로 요구된다. 

하지만 기존의 연구들은 원하고자 하는 패턴의 역상으로 제작된 몰드에 액상의 엘라스토머를 부어 제작하기 때문에 몰드 제작 공정이 필수적으로 요구되며, 3D 마이크로 구조의 크기/밀도 등을 조절하는데 한계가 있어 제작 유연성에 있어 큰 한계점이 존재했다. 

공동 연구진은 이러한 문제를 해결을 위해, 온도에 의해 팽창하는 입자를 이용하여 표면에 3D 마이크로 구조를 제작하는 기술을 개발했다. 

이번 연구에서 핵심으로 사용한 물질은 온도에 의해 팽창하는 미소 입자이다. 이 입자는 상온에서는 초기 상태인 6~11 ㎛를 유지하는데, 특정 온도를 가하면 내/외부의 변화로 인해 약 30~50 ㎛로 크기가 변하게 된다. 

해당 입자를 유연 엘라스토머와 혼합하여 유연 필름을 제작한 뒤에 열팽창을 시키는 표면에 3D 마이크로 구조가 어레이된 유연 필름의 제작이 가능하다.

미소 입자의 팽창 메커니즘(좌) 및 팽창 전후 관찰 사진(우)
미소 입자의 팽창 메커니즘(좌) 및 팽창 전후 관찰 사진(우)

이를 활용해 고민감도의 유연 압력센서에 적용했다. 본 센서는 기존에 제안되었던 3D 마이크로 구조 기반 압력센서에 비해 높은 감도를 보여줬고, 내구성/검출한계/응답속도 등에서도 뛰어난 성능을 보였다. 

또한 다양한 사용자 맞춤형 어플리케이션에 적용했다. 첫 번째로 손가락형 압력센서에 적용했다. 개발된 손가락형 압력센서는 높은 감도로 인해 미세한 압력 변화를 감지할 수 있었으며 이를 이용해 손가락의 미세한 맥박 변화, 물체를 누르는 힘 등에 대해 정밀하게 감지/구분할 수 있음을 보였다. 

두 번째로는 대면적 어레이 센서로 제작하여 인간-컴퓨터 상호작용에 적용했다. 이를 통해 손목의 움직임을 감지하고 획득한 신호를 기계학습에 적용해 마우스 커서를 움직일 수 있음을 증명했다.

유연 압력센서의 어플리케이션, 손가락형 압력센서(좌), 대면적 어레이 센서(우)
유연 압력센서의 어플리케이션, 손가락형 압력센서(좌), 대면적 어레이 센서(우)

이번 연구 논문은 재료연구 분야 최상위 학술지 중 하나인 Advanced Functional Materials (Impact factor 18.81)지에 지난달 4일자로 게재됐다.

 


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